在半导体、FPD、湿法刻蚀、化学品供应等精密制造领域,漏液检测是保障设备安全、防止工艺污染、减少停机损失的关键环节。

长期以来,市场主流方案以光电式漏液传感器为主,但光电式方案并非万能——强光环境和液体凝固两大痛点,常常导致误判或失效。为此,华怡丰同时推出光电型与电容型两种产品,前者对标主流,后者则补齐了传统方案的天然短板。
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光电式传感器利用光束在液体中的散射变化判断漏液,无漏液时,投光部光束经检测面反射至受光部;有漏液时,光束被液体散射,受光部收不到信号。

这种方式的优点是响应快、不受液体电导率影响,纯水、酸碱性药液、有机溶剂均可检测。
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电容型传感器的出现,正是为了解决光电式在强光和凝固液体两大场景下的失效问题。它不依赖光线,也不依赖液体的流动性或光学特性,电容型应运而生——它不是替代,而是补全。

电容型通过检测液体与空气之间的介电常数差异来判断是否漏液,无漏液时,电极间介质为空气(介电常数≈1);有漏液时,液体流入检测区域,介电常数发生显著变化。
关键优势:不受强光影响:太阳光、照明光完全无干扰,可检测凝固液体:即使液体已结晶、结胶、凝固,介电常数依旧与空气不同,传感器仍能稳定输出,适应更多基板:金属、非金属底板均可安装
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半导体晶片湿法刻蚀工序生产线等漏液检测

FPD湿法刻蚀设备漏液检测

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选型指南
如果您正在为复杂工况下的漏液检测头疼,请试下我们的电容型方案。



